電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。
工作原理：
安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺，以便營造適合該設(shè)備的條件。
電鏡隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生最佳的振動隔離狀態(tài)。隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
電鏡隔振臺采用先進(jìn)的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。本產(chǎn)品平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。 
應(yīng)用范圍：
1、超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）；
2、光刻工具；
3、高精度計量工具；
4、光譜儀器。
電鏡隔振臺的性能優(yōu)勢：
1、5-20ms響應(yīng)時間；
2、無低頻共振、無空氣要求；
3、低頻隔振性能優(yōu)異，安裝和使用簡單；
4、系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；
5、緊湊、模塊化的多功能設(shè)計；
6、穩(wěn)定性高，能*連續(xù)使用多年；
7、六個空間方向自由隔振（0.5Hz-200Hz主動隔振，>200Hz被動隔振）。
