橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空。可測的材料包括：半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物、金屬、多層膜物質(zhì)?？梢詰?yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

 

　　橢圓偏振儀的結(jié)構(gòu)：

　　本產(chǎn)品常用的光學(xué)元件有下列幾種：

　　1、光源：橢圓偏振儀的理想光源是強(qiáng)度穩(wěn)定，從紫外到近紅外整個波長范圍內(nèi)輸出近似為常數(shù)，目前大多選用Xe或Hg-Xe燈是比較合理的，但是它在UV強(qiáng)度較弱，而在880~1010nm具有很強(qiáng)的原子輻射譜線。也有采用激光作為光源，進(jìn)行單色橢偏測量。

　　2、偏振器件：偏振器是橢圓偏振儀重要的光學(xué)元件，理想的偏振器只能傳遞在一個方向偏振的光，而不能傳遞任何沿著它垂直方向偏振的光。偏振器能將任何偏振態(tài)的光變成線偏振光并定向于傳輸軸。格蘭泰勒偏振器射出光的偏振度達(dá)到百萬分之一，波長范圍為230~2200nm。

　　3、補(bǔ)償器：亦是延滯器，它可以精確地作90°的延滯。補(bǔ)償器可以由反折射薄片或拋光的斜方形晶體構(gòu)成。該元件的精確延滯與光學(xué)調(diào)整和所用光的波長有關(guān)。有的橢偏測量系統(tǒng)利用能將線偏振光變成園偏振光的補(bǔ)償器。特殊情況下，補(bǔ)償器能簡單地在兩垂直的線偏振器之間引入位相延滯。旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器與旋轉(zhuǎn)偏振器相結(jié)合能將非偏振光變成橢圓偏振光。

　　4、光束調(diào)制器：通常有幾種，一種是機(jī)械調(diào)制器，可以實(shí)現(xiàn)光束強(qiáng)度簡諧地調(diào)制為了隨后的同步探測；另一種是電光或磁光調(diào)制器，用于光束強(qiáng)度或偏振態(tài)的簡諧擾動為了隨后的同步探測，這種調(diào)制器一般難以標(biāo)定和維護(hù)，對溫度敏感并且相當(dāng)昂貴。現(xiàn)在還有一種光彈型調(diào)制器用于本產(chǎn)品中。

　　5、探測器：通常用于探測器有三種，即光電倍增管、硅光電池和InGaAs，前者對偏振態(tài)敏感，后兩種則不敏感，并且在很寬范圍內(nèi)對光束強(qiáng)度具有線性響應(yīng)。此外，也有采用硅光二極管列陣作為探測器的。