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當(dāng)前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >  膜厚儀  >  Thetametrisis膜厚儀  >  Filmetrics F3-sX硅片厚度測(cè)量

硅片厚度測(cè)量

簡(jiǎn)要描述：硅片厚度測(cè)量?jī)x采用的是近紅外光(NIR)來測(cè)量膜層厚度，因此可以測(cè)試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導(dǎo)體膜層) 。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：Filmetrics F3-sX
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時(shí)間：2024-03-19
  • 訪  問  量： 2436

詳細(xì)介紹

　　滿足薄膜厚度范圍從15nm到3mm的先進(jìn)厚度測(cè)試系統(tǒng)
　　F3-sX家族利用光譜反射原理，可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測(cè)最大厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。而且能在幾分之一秒內(nèi)完成。
　　波長(zhǎng)選配
　　F3-sX采用的是近紅外光(NIR)來測(cè)量膜層厚度，因此可以測(cè)試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導(dǎo)體膜層) 。980nm波長(zhǎng)型號(hào)，F(xiàn)3-s980，專門針對(duì)低成本預(yù)算應(yīng)用。F3-s1310針對(duì)于高參雜硅應(yīng)用。F3-s1550則針對(duì)較厚膜層設(shè)計(jì)。


　　測(cè)量原理為何？

　　FILMeasure分析-薄膜分析的標(biāo)準(zhǔn)部件

　　可選配件

　　選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
　　桌面式薄膜厚度測(cè)量；
　　24小時(shí)電話，郵件和在線支持；
　　所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件；

　　附加特性
　　嵌入式在線診斷方式；
　　免費(fèi)離線分析軟件；
　　精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效地；
　　存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果；

　　應(yīng)用
　　Si晶圓厚度測(cè)試；
　　保形涂層；
　　IC 芯片失效分析；
　　厚光刻膠(比如SU-8光刻膠)。



 

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