產(chǎn)品簡介：

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測繪系統(tǒng)集成了光學(xué)、電子和機(jī)械模塊，可兼用于對無圖形和圖形薄膜（例如微圖形表面、粗糙表面）進(jìn)行精確測量 。

將晶圓放置在真空吸盤上（晶圓尺寸直徑≤300mm）并配備反射率標(biāo)準(zhǔn)件。 由功能強(qiáng)大的光學(xué)模塊執(zhí)行測量，光斑尺寸小至幾微米。電動(dòng)平臺(tái)提供XY方向 300 毫米的行程，在速度、精度和可重復(fù)性方面具有優(yōu)秀的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 實(shí)時(shí)反射率光譜測量

o 薄膜厚度、光學(xué)特性、非均勻性測量、厚度測繪

o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機(jī)進(jìn)行成像

o 測量參數(shù)廣泛統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

o 半自動(dòng)圖案對準(zhǔn)功能用于測量周期性圖形區(qū)域

o 不一樣的軟件功能，例如：Click2Move (螢?zāi)稽c(diǎn)擊定位量測點(diǎn))、比例尺

附件：

• FR-AutoFocus：100mm 長線性軸，用于自動(dòng)對焦，具有兩種操作模式：圖像對焦（對比度）/ 反射強(qiáng)度

• Rotation Module：旋轉(zhuǎn)模塊電動(dòng)平臺(tái)提供高的分辨率和精度

• FR-FilterWheel：電動(dòng)濾光輪模塊帶有可容納 12 個(gè)濾光片的插槽由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制: 濾光片尺寸：直徑0.5英寸，最多6個(gè)過濾器（1英寸）

• FR-AutoTurret：自動(dòng)轉(zhuǎn)塔由計(jì)算機(jī)控制可容納 4 個(gè)物鏡：鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒

• Lenses：長工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X

• 反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X

• Pump：低噪音真空泵，2.5L/min，真空度-60kPa.

• Chucks：6 英吋光掩模卡盤6 英吋帶參考片區(qū)域 ，多晶圓卡盤（100-300 毫米和不規(guī)則形狀片），包括參考區(qū)域和暗區(qū)，用于自動(dòng)基準(zhǔn)

規(guī)格：

二維厚度圖：

3D厚度圖：

測量原理：